镀膜机技术参数
技术参数：1. 真空室：∅220mm*h400mm；2. 可镀最大工件尺寸：60*60mm,配抽拉式样品台， 样品可旋转；另配备铜基板样品台；3. 真空系统：机械泵+分子泵抽气系统； 极限真空度：优于 5*10-5pa；4.抽气时间：大气压~8*10-4pa 小于 30min；5.蒸发：电阻式蒸发电极（1对），可达到1800℃（只要熔点低于 1600度的都可以蒸镀）功率：2kw；6.开启方式：正面开门结构，便于换丝及装料；7.水冷循环系统 0.5p；注：可根据用户需要进行配置调整！
设备结构介绍：该设备由真空室、真空机组和电气系统组成
1.真空室
圆形形腔体，侧部抽气，正面开门。不锈钢材质，配 dn60 观察窗（含防污挡板）、预抽接口、充气接口； 内部有底板、蒸发源等；
2.真空系统及进气
采用 110l 分子泵+4l 旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有复合式数显真空测量仪表。
3.电气系统
电气系统包括真空机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。有安全互锁机构，有效防止误操作发生。系统配有 1 套蒸发电源，数显。
4.膜厚测量装置：采用石英晶振膜厚仪及水冷探头一套（选配）。
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