ESS 氦质谱检漏仪在真空验证中的应用
氦质谱检漏仪定义是用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦气作为惰性气体，不会腐蚀设备，且在容器环境和质谱环境中干扰较少，信号较纯，因而
常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有检漏仪（即调整到仅对氦气反应的工作状态的气体
分析仪）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量
大小。
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里*的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪
器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
以西格玛旗下的safchitech子公司为例
epichem(epichemlimited,特殊气体分部)要求ess设计并建造了一套检测系统,用于泵压、
烘烤、真空检漏、正压泄漏检测以及有机金属起泡剂的制备气认证。
起泡器(过去常用于向半导体工业提供有机金属)是一些体积较小的金属罐，配置有进出阀。
由于具有高真空超洁净的特点，因此起泡器在填充前要求相当的洁净。同时，由于起泡器内
填充的是氧气，避免泄漏发生爆炸也至关重要。
针对此应用，ess开发出了一种特殊的双进样端口的质谱系统，它具有一个经校准的正压泄
漏测试模块，还具有一个自动化的高真空测试模块。
首先，将起泡器放置于平台上。使用氦气填充至一定压力，所有的接头都使用正压泄漏检测
装置“嗅辨”一下。任何检测到的泄漏记录与起泡器序列号一一对应，发生任何超过用户设
置的zui大允许结果泄漏的起泡器都会被拒绝放行。
然后将起泡器安装10个一排的装置上，该装置配有无油前级泵和涡轮分子泵。在软件*
控制下，外部管线抽真空并保持状态，然后操作者使用外喷雾检查所有接头时，质谱系统
可以监测任何氦泄漏。
若通过泄漏测试，将起泡器抽真空、烘烤。测试结束时，质谱系统会自动分析起泡器和接头
管线中的气体。为保证测试结果，所有起泡器中的水，氧和溶剂的浓度必须低于1ppm。
测试结束时，会提醒操作人员，并显示测试结果是通过还是拒绝，所有测试数据将会被记录，
便于溯源。
监测组分
检测限
丙酮(acetone)
0.5ppm
乙醇(ethanol)
0.5ppm
氦气(helium)
0.5ppm
氮气(nitrogen)
0.5ppm
氧气(oxygen)
0.5ppm
三氯乙烯(trichloroethylene)
0.5ppm
水(water)
0.5ppm
*：essreactorr系列质谱仪
reactorr-s质谱仪
与reactorr-v具有相同的硬件平台
占地空间小，节省洁净室操作空间
配备软件，用于半导体检测
可用于解决客户故障，优化半导体应用，节省时间和金钱。
reactorr-v真空过程监控的质谱系统
于监测真空处理，如真空加热处理，太阳能电池板制程等
配备全自动进样端口，可不中断或不干预式监测整个过程
可以直接与真空腔室耦合连接
英国ess产品
ess公司是世界yi流的高质量质谱系统制造商，开发了一系列气体分析应用，和制造了气体
分析的ms监测系统。
ess产品型号众多，分别针对各种应用。我们提供适合各种应用的不同进样系统以及特定型
号，一直在持续开发新品以满足新的应用，敬请关注。
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填充的是氧气，避免泄漏发生爆炸也至关重要。
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若通过泄漏测试，将起泡器抽真空、烘烤。测试结束时，质谱系统会自动分析起泡器和接头
管线中的气体。为保证测试结果，所有起泡器中的水，氧和溶剂的浓度必须低于1ppm。
测试结束时，会提醒操作人员，并显示测试结果是通过还是拒绝，所有测试数据将会被记录，
便于溯源。
监测组分
检测限
丙酮(acetone)
0.5ppm
乙醇(ethanol)
0.5ppm
氦气(helium)
0.5ppm
氮气(nitrogen)
0.5ppm
氧气(oxygen)
0.5ppm
三氯乙烯(trichloroethylene)
0.5ppm
水(water)
0.5ppm
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