等离子清洗机能对材料起到清洁、刻蚀、活化改性的作用,适用于微流控芯片pdms键合、ito导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、pet、二氧化硅等几乎所有材料的plasma处理,等离子清洗机的应用解决方案:
1.表面清洁解决方案。
在真空等离子腔中,射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体,等离子清洗机通过等离子体轰击清洗产品表面,达到清洗目的。
2.表面活化解决方案。
等离子表面处理机后的物体增强了表面能量、亲水性、附着力和附着力。
3.表面刻蚀解决方案。
材料表面通过反应气体等离子体选择性蚀刻,蚀刻材料转化为气相,由真空泵排出。等离子清洗机处理后的材料微观比表面积增加,亲水性好。
4.纳米涂层解决方案。
等离子清洗机清洗机处理后,等离子引导聚合形成纳米涂层。各种材料通过表面涂层实现疏水(疏水)、亲水(亲水)、疏脂(防脂)、疏油(防油)。
5.pbc制造解决方案。
事实上,这也涉及到等离子清洗机刻蚀的过程。等离子表面处理器通过等离子轰击物体表面来去除表面胶体。等离子清洗机的蚀刻系统去污蚀刻,带走钻孔中的绝缘物,最终提高产品质量。
6.半导体/led解决方案。
等离子体清洗机在半导体行业的应用是基于集成电路的各种元件和连接线非常精细,因此在工艺过程中容易出现灰尘或有机物等污染,极易造成晶片损坏和短路。为了消除这些工艺过程中的问题,等离子体表面处理设备被引入后续工艺进行预处理,等离子体表面处理机的使用是为了更好地保护我们的产品,在不破坏晶圆表面性能的情况下。
在led环氧胶注射过程中,污染物会导致气泡成泡率高,导致产品质量和使用寿命低。因此,避免密封过程中气泡的形成也是人们关注的问题。通过射频等离子体清洗后,芯片和基板将与胶体更紧密地结合,气泡的形成将大大降低,但也将显著提高散热率和光的出射率。等离子清洗机应用于金属表面,以去除油和清洁。
7.tsp/oled解决方案。
等离子清洗机的清洗机的清洗功能。tsp:清洗触摸屏的主要工艺,提高oca/ocr、压层、acf、ar/af涂层等工艺的附着力/涂层力。为了去除气泡/异物,各种玻璃和薄膜均匀的大气压等离子体可以通过使用各种大气压等离子体形式放电,使表面无损坏。
关键词:等离子清洗机 芯片 真空泵
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等离子清洗机的应用解决方案
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