扫描电镜液体热电原位系统攻克了以往原位液体解决方案装样困难的问题。实验中,采用mems微加工工艺,使电化学芯片视窗区域的氮化硅膜厚度最薄可达10nm,极大减少了对电子束的干扰,液相环境可达到纳米级分辨率。本公司提供的扫描电镜液体热电原位系统有高安全性:
1.市面常见的其他品牌液体样品杆,由于受自身液体池芯片设计方案制约,只能通过液体泵产生的巨大压力推动大流量液体流经样品台及芯片外围区域,有液体大量泄露的安全隐患。其液体主要靠扩散效应进入芯片中间的纳米孔道,芯片观察窗里并无真实流量流速控制。
2.采用纳流控技术,通过压电微控系统进行流体微分控制,实现纳升级微量流体输送,原位纳流控系统及样品杆中冗余的液体量仅有微升级别,有效保证电镜安全。
3.采用高分子膜面接触密封技术,相比于o圈密封,增大了密封接触面积,有效减小渗漏风险。
4.采用超高温镀膜技术,芯片视窗区域的氮化硅膜具有耐高温低应力耐压耐腐蚀耐辐照等优点。
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