quark/准分子照射装置的应用是什么？
准分子照射装置应用实例
光掩模检查前的中和
晶圆静电消除（防止电路损坏）
玻璃表面有机物去除（干洗）
涂装前表面改性（提高附着力）
镀前表面改性（精细镀层渗透）
电子基板的预贴合处理（提高附着力）
什么是准分子灯？
准分子灯是一种可以照射真空紫外光的光源，其发光原理和结构与传统的放电灯（汞灯、氙灯等）不同。
准分子灯产生波长为172 nm的真空紫外光（vuv），其光子能量比传统光清洁和改性中使用的汞灯（波长为185 nm和254 nm）更高。
它可以立即打开和关闭，不需要空转。
扁平型
半导体 qef-300spc qef-230spc qef-160 qef-100 qef-35st qef-35st-v126
波长 172纳米 126纳米
公用事业 氮气/冷却水/ac100-240v
分配 ±5% ±7%
照射孔径 φ332mm 218×218毫米 167×167毫米 φ100mm φ35mm φ35mm
兼容的工作尺寸 12英寸 8英寸 6寸 4英寸 – –
照度（最大窗口表面） 80毫瓦/平方厘米 80毫瓦/平方厘米 30毫瓦/平方厘米 30毫瓦/平方厘米 5毫瓦/平方厘米 5毫瓦/平方厘米
平面显示器 qef-1600 qef-600 qef-320
波长 172纳米
公用事业 氮气/冷却水/ac100-240v
分配 ±10%
照射孔径 70×1570毫米 70×620毫米 70×312毫米
兼容的工作尺寸 g6 g3 –
照度（最大管面） 180毫瓦/平方厘米 180毫瓦/平方厘米 100毫瓦/平方厘米
管型
半导体 qev-360 qev-230 qev-160
波长 172纳米
公用事业 氮气/冷却水/ac100-240v
分配 ±15%
照射孔径 340×340毫米 216×216毫米 176×176毫米
兼容的工作尺寸 12英寸 8英寸 6寸
照度（最大窗口表面） 15毫瓦/平方厘米
平面显示器 qev-1200 qev-850 qev-750 qev-150
波长 172纳米
公用事业 氮气/冷却水/ac100-240v 氮气/ac100~240v
分配 ±15%
照射孔径 25×1200毫米 25×850毫米 25×750毫米 25×172毫米
兼容的工作尺寸 宽度1200mm 宽度850毫米 宽度750毫米 宽度150毫米
照度（最大管面） 50毫瓦/平方厘米
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它可以立即打开和关闭，不需要空转。
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分配 ±5% ±7%
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波长 172纳米
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分配 ±10%
照射孔径 70×1570毫米 70×620毫米 70×312毫米
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