多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
测量示例可以测量从半导体等精密加工产品到眼镜和汽车零件的各种样品的膜厚。
f3-cs桌面式膜厚测量系统
f3-cs 是测量小样品的测量系统。与测量台集成的测量系统使其易于携带。只需将样品的测量面朝下放在载物台上即可进行测量，大约1秒即可测量膜厚和折射率。
主要特点紧凑的尺寸
轻松连接，仅 usb 连接
光学常数分析（折射率/消光系数）
主要用途光学镀膜硬涂层、防滴膜等
平板有机膜等
产品阵容模型f3-cs-uvf3-csf3-cs-近红外
测量波长范围190 – 1100nm 380 – 1050nm 950 – 1700nm
膜厚测量范围
3nm – 40μm 15nm – 70μm 100nm – 250μm
准确性*± 0.2% 薄膜厚度 ± 0.4% 薄膜厚度
1纳米 2纳米 3纳米
*取决于样品和测量条件
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