半导体洗涤用水中的微量无机离子的分析---离子色谱仪
在制造过程中，半导体表面用超纯水清洗，用于去除残余的酸离子，进而避免产生金属腐蚀的现象，因此洗涤用水中的阴离子分析对于产品质量控制至关重要。这需要在几个ppt水平下进行阴离子检测。下图所示的是应用离子色谱仪对半导体洗涤用水中的微量无机离子的分析。
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