日本东丽toray半导体，电子元件氧气分析仪MS-500
日本东丽toray半导体，电子元件氧气分析仪ms-500，lc-450a，lc-450d，lc-860
氧气表ms-500
多可以同时测量8个点可以显示从ppm级到100％的多种浓度。非常适合安装在半导体制造设备，真空设备等上。传感器是直接插入型（用于真空16/25/40的nw法兰）特殊涂层应用于高度耐用的传感器，以进一步提高耐用性。ms-500设备规格测量原理
氧化锆轻型电池
形状
分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式）
显示方式
4位数字显示（密度显示）
测量范围
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0大气压
自动范围
重复性
在±0.5％fs 0-1％范围内或更高
±1％fs以下或≤±
0.1ppm大于0-1ppm的0-1％内，atm范围超出保证的浓度
测量点数
1-8
样气条件
压力
10-3至200 kpa（压力）
流量
0.5-5,000 ml / min或0 ml / min（自然扩散状态的测量）
湿度
露点低于环境温度
温度
0-100℃
其他
不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气
大气层
记录仪输出
仅变速箱输出
变速箱输出
rs-232c
报警输出
没有
热身时间
6分钟以内
尺寸
ms-500（控制器）
92（w）x 44（h）x 120（d）（不包括突起）
ms-510（转换器）
100（w）x 40（h）x 88（d）（不包括突起）
传感器单元
sd16nw
总长100 mm（感应部分φ11×39，主体部分φ40×51）
sd25nw
总长100mm（感应部分φ11×42，主体部分φ40×48）
sd40nw
总长100 mm（感应部分φ11×41，主体部分φ40×49）
大众
ms-500（控制器）
约0.6kg
ms-510（转换器）
约0.5kg
传感器单元
sd16nw
约0.2kg
sd25nw
约0.2kg
sd40nw
约0.35kg
外部连接
真空法兰之一（nw16、25、40）
使用电源
24vdc±10％
氧气计lc-450a，lc-450d
可以显示很宽的浓度范围，从测量到的浓度范围内的ppm水平到100％。改进的传感器耐用性
氧气传感器经过特殊处理，以提高其耐用性。交流宽电源ac100-240vac（lc-450a）
* lc-450d由24v dc驱动紧凑且易于安装
深度比我们的传统型号还要短，并且不会占用太多空间。符合rohs的产品ce标志自我声明产品
en61010-1：2002，en61326：+ a3：2003lc-450a设备规格测量原理
氧化锆轻型电池
形状
桌面型/面板安装型
显示方式
4位数字显示（密度显示）
测量范围
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0atm自动范围
重复性
在±1％fs 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围
取样方式
内置泵的连续吸入型
样气条件
压力
加压30 kpa以下
流量
1,000-2,000毫升/分钟
湿度
露点低于环境温度
温度
0-50℃
其他
不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气
大气层
记录仪
输出
氧气浓度输出
在4-20ma和0-20ma之间切换（可选0-10v）绝缘，负载电阻550ω或更小
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围
0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出
rs-232c
报警输出
失败（设备错误）
1分
非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作）
alm（浓度警报）
2点（h / l）
非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
发生警报时触点闭合（可以更改接点操作）
rdy（预热信号）
1分
非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下
·无电压触点的小开关容量为12v或更高，并且无法承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出
2分
非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下
热身时间
5分钟以内
尺寸
身体
210（w）x 134（h）x 300（d）mm（不包括突起）
大众
约6kg
气体
连接口
进口
rc1 / 4
旁路输出
rc1 / 4
出口
rc1 / 4
使用电源
100-240vac，50va（稳定：35va）50hz / 60hz
lc-450d设备规格测量原理
氧化锆轻型电池
形状
桌面型/面板安装型
显示方式
4位数字显示（密度显示）
测量范围
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0atm自动范围
重复性
在±1％fs 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围
取样方式
内置泵的连续吸入型
样气条件
压力
加压30 kpa以下
流量
〜1,500l /分钟
湿度
露点低于环境温度
温度
0-50℃
其他
不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气
大气层
记录仪
输出
氧气浓度输出
0-10vdc，绝缘，负载电阻600kω或更高
（选件：4-20madc，绝缘，负载电阻550ω或更低）
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围
0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出
rs-232c
报警输出
失败（设备错误）
1分
非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作）
alm（浓度警报）
2点（l / ll）
非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
发生警报时触点闭合（可以更改接点操作）
rdy（预热信号）
1分
非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
在预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）
·非电压触点的小开关容量为12v或20ma或更高，并且无法承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出
2分
非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下
热身时间
5分钟以内
尺寸
身体
240（w）x 134（h）x 210（d）mm（不包括突起）
大众
约5kg
气体
连接口
进口
rc1 / 8
旁路输出
rc1 / 8
出口
rc1 / 8
使用电源
24vdc±10％，1.25a（30va，稳态）
氧气计lc-860
低浓度测量
可以测量ppb到100％操作简便
按功能可轻松操作吹扫功能
比较气体更稳定，测量更精que（仅适用于具有吹扫功能的规格）高可靠性传感器传感器
内部还可以进行防劣化处理（可选）lc-860设备规格测量原理氧化锆轻型电池
形状桌面型/面板安装型
显示方式6位数字显示（密度显示）
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0大气压
自动/固定范围
重复性
氧气浓度在±1％fs之内且小于1ppm和0-1ppm，大气压范围超出保证的浓度范围
取样方式内置泵的连续吸入型
样气条件压力加压30 kpa以下
流量〜1,500ml /分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气大气层
记录仪
输出氧气浓度输出4-20ma / 0-10v 4-20ma
：绝缘，负载电阻为600ω或更低
0-10v：绝缘，负载电阻为500ω或更高
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围0-100％，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm，0-1ppm，10-20-10-0 或自动/固定范围的任意4个范围
变速箱输出rs-232c
报警输出失败（设备错误）1分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.1a或更小
由于设备异常，触点闭合（可以更改触点操作）
alm（浓度警报）2分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.1a或更小
发生警报时触点闭合（可以更改触点操作）
rdy（预热信号）1分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.5a或更小
预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）无电压触点的小开关容量为12v或更高，并且不能承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出3分非电压接点，接点容量24vdc / ac以下，0.1a以下
热身时间20分钟以内
尺寸身体288（w）x 144（h）x 400（d）mm（不包括突起）
大众约10kg
气体
连接口进口rc1 / 8
旁路输出rc1 / 8
出口rc1 / 4
使用电源100-120vac±10％200va 50hz / 60hz的
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形状
分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式）
显示方式
4位数字显示（密度显示）
测量范围
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0大气压
自动范围
重复性
在±0.5％fs 0-1％范围内或更高
±1％fs以下或≤±
0.1ppm大于0-1ppm的0-1％内，atm范围超出保证的浓度
测量点数
1-8
样气条件
压力
10-3至200 kpa（压力）
流量
0.5-5,000 ml / min或0 ml / min（自然扩散状态的测量）
湿度
露点低于环境温度
温度
0-100℃
其他
不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气
大气层
记录仪输出
仅变速箱输出
变速箱输出
rs-232c
报警输出
没有
热身时间
6分钟以内
尺寸
ms-500（控制器）
92（w）x 44（h）x 120（d）（不包括突起）
ms-510（转换器）
100（w）x 40（h）x 88（d）（不包括突起）
传感器单元
sd16nw
总长100 mm（感应部分φ11×39，主体部分φ40×51）
sd25nw
总长100mm（感应部分φ11×42，主体部分φ40×48）
sd40nw
总长100 mm（感应部分φ11×41，主体部分φ40×49）
大众
ms-500（控制器）
约0.6kg
ms-510（转换器）
约0.5kg
传感器单元
sd16nw
约0.2kg
sd25nw
约0.2kg
sd40nw
约0.35kg
外部连接
真空法兰之一（nw16、25、40）
使用电源
24vdc±10％
氧气计lc-450a，lc-450d
可以显示很宽的浓度范围，从测量到的浓度范围内的ppm水平到100％。改进的传感器耐用性
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* lc-450d由24v dc驱动紧凑且易于安装
深度比我们的传统型号还要短，并且不会占用太多空间。符合rohs的产品ce标志自我声明产品
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氧化锆轻型电池
形状
桌面型/面板安装型
显示方式
4位数字显示（密度显示）
测量范围
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0atm自动范围
重复性
在±1％fs 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围
取样方式
内置泵的连续吸入型
样气条件
压力
加压30 kpa以下
流量
1,000-2,000毫升/分钟
湿度
露点低于环境温度
温度
0-50℃
其他
不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气
大气层
记录仪
输出
氧气浓度输出
在4-20ma和0-20ma之间切换（可选0-10v）绝缘，负载电阻550ω或更小
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围
0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出
rs-232c
报警输出
失败（设备错误）
1分
非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作）
alm（浓度警报）
2点（h / l）
非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
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rdy（预热信号）
1分
非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下
·无电压触点的小开关容量为12v或更高，并且无法承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出
2分
非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下
热身时间
5分钟以内
尺寸
身体
210（w）x 134（h）x 300（d）mm（不包括突起）
大众
约6kg
气体
连接口
进口
rc1 / 4
旁路输出
rc1 / 4
出口
rc1 / 4
使用电源
100-240vac，50va（稳定：35va）50hz / 60hz
lc-450d设备规格测量原理
氧化锆轻型电池
形状
桌面型/面板安装型
显示方式
4位数字显示（密度显示）
测量范围
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0atm自动范围
重复性
在±1％fs 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围
取样方式
内置泵的连续吸入型
样气条件
压力
加压30 kpa以下
流量
〜1,500l /分钟
湿度
露点低于环境温度
温度
0-50℃
其他
不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气
大气层
记录仪
输出
氧气浓度输出
0-10vdc，绝缘，负载电阻600kω或更高
（选件：4-20madc，绝缘，负载电阻550ω或更低）
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围
0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出
rs-232c
报警输出
失败（设备错误）
1分
非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作）
alm（浓度警报）
2点（l / ll）
非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
发生警报时触点闭合（可以更改接点操作）
rdy（预热信号）
1分
非电压接点，接点容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
在预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）
·非电压触点的小开关容量为12v或20ma或更高，并且无法承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出
2分
非电压接点，接点容量30vdc / ac以下，0.5a以下
热身时间
5分钟以内
尺寸
身体
240（w）x 134（h）x 210（d）mm（不包括突起）
大众
约5kg
气体
连接口
进口
rc1 / 8
旁路输出
rc1 / 8
出口
rc1 / 8
使用电源
24vdc±10％，1.25a（30va，稳态）
氧气计lc-860
低浓度测量
可以测量ppb到100％操作简便
按功能可轻松操作吹扫功能
比较气体更稳定，测量更精que（仅适用于具有吹扫功能的规格）高可靠性传感器传感器
内部还可以进行防劣化处理（可选）lc-860设备规格测量原理氧化锆轻型电池
形状桌面型/面板安装型
显示方式6位数字显示（密度显示）
测量范围0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2 10-20〜10-0大气压
自动/固定范围
重复性
氧气浓度在±1％fs之内且小于1ppm和0-1ppm，大气压范围超出保证的浓度范围
取样方式内置泵的连续吸入型
样气条件压力加压30 kpa以下
流量〜1,500ml /分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气大气层
记录仪
输出氧气浓度输出4-20ma / 0-10v 4-20ma
：绝缘，负载电阻为600ω或更低
0-10v：绝缘，负载电阻为500ω或更高
记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度
输出范围0-100％，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm，0-1ppm，10-20-10-0 或自动/固定范围的任意4个范围
变速箱输出rs-232c
报警输出失败（设备错误）1分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.1a或更小
由于设备异常，触点闭合（可以更改触点操作）
alm（浓度警报）2分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.1a或更小
发生警报时触点闭合（可以更改触点操作）
rdy（预热信号）1分非电压接点，接点容量24vdc / ac或更小，0.5a或更小
预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）无电压触点的小开关容量为12v或更高，并且不能承受微小的负载。
mrk（范围标记）输出3分非电压接点，接点容量24vdc / ac以下，0.1a以下
热身时间20分钟以内
尺寸身体288（w）x 144（h）x 400（d）mm（不包括突起）
大众约10kg
气体
连接口进口rc1 / 8
旁路输出rc1 / 8
出口rc1 / 4
使用电源100-120vac±10％200va 50hz / 60hz的
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