气体质量流量控制器用途参数
d07-9e气体质量流量控制器用途:
质量流量控制器（mfc）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
d07-9e气体质量流量控制器技术参数：
产品型号
d07-9e
产品类型
普通型
流量量程
20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm
产品精度
±2％f.s.
重复精度
±0.2% fs
线性
±1％f.s.
响应时间
≤4sec
工作温度范围
(5~45)°c
耐压
3mpa
密封材料
氟橡胶viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) neoprene
输入输出信号
(0~5)vdc
电源
±15v
阀类型
常闭
温度系数
- 无 -
零点飘移指标
- 无 -
电气连接
d sub 15 pins male
工作压差范围
(0.05～0.30) mpa（20slm ≤f.s.≤30slm）,(0.10～0.30) mpa（50slm m≤f.s.≤150slm）,(0.15～0.30) mpa（200slm ≤f.s.≤250slm）
漏率
1×10-8atm•cc / sec he（1×10-9 pa•m3 / sec he）
标准接头形式
vcr1/2”,双卡套1/2”,双卡套1/4”(满量程≤60slm),双卡套φ12,双卡套φ6(满量程≤60slm),双卡套φ8(满量程≤200slm),双卡套φ10
表面化学成分
- 无 -
表面粗糙度
- 无 -
抗电磁干扰
- 无 -
重量
2.6kg
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