真空规是一种常用的真空度量设备,用于测量和监测真空系统中的压力。它基于热电离原理,通过测量气体分子在电场中离子化产生的电流来确定真空的压力。
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真空规的工作原理如下:
离子化:当气体分子进入真空规的感应器时,分子与感应器中的电子碰撞,使得部分分子离子化。这些离子被感应器中的电场加速,进一步产生更多的离子。
电流测量:感应器中的电场使得离子在感应器内运动,并通过感应器的电极产生电流。这个电流与气体中的分子数目成正比,因此可以用来测量气体的压力。
压力计算:感应器测得的电流信号经过放大和转换后,可以得到对应的压力值。压力计通过校准和参考表格将电流转化为实际的压力数值。
需要注意的是,真空规适用于中至高真空范围。对于较低真空范围,通常需要使用其他类型的真空规。
真空规具有快速响应、高精度和稳定性的特点,因此广泛应用于科学研究、工业制造和其他需要真空度量的领域。
以上就是提供的真空规介绍及工作原理。
关键词:真空计 控制器 压力计
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