电子级水GB∕T11446.1-2013
中华人民共和国国家标准：电子级水
（gb/t 11446.1-2013）
1范围
gb/t 11446 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。
本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。
2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是需要的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改）适用于本文件。
gb/t 11446.3-2013 电子级水测试方法通则
gb/t 11446.4-2013 电子级水电阻率的测试方法
gb/t 11446.5-2013 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
gb/t 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
gb/t 11446.7-2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法
gb/t 11446.8-2013 电子级水中总有机碳的测试方法
gb/t 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法
gb/t 11446.10-2013 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
电子级水electronic grade water
电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。
3.2
电阻率resistivity
在规定温度下，1cm3(正立方体)水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号ρ表示，单位为欧姆厘米（ω·cm）,纯水的理论电阻率为18.3mω·cm(25℃)。
3.3
全硅total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。
3.4
可溶性硅soluble silicon
以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。
3.5微粒性物质granular matter
除气体外，以非液体分散在水中，并形成非均相混合物的物质。
3.6总有机碳total organic carbon；toc
水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。
3.7吸附absorption某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的现象。
3.8凝聚coagulation
在源水中加入某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。
3.9絮凝flocculation
水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是再凝聚作用后缓慢进行，可除去水中更细的微粒。
3.10砂滤器sand filter
用于盛放不同直径的砂粒，以除去源水中悬浮固体和浑浊物的装置。
3.11活性碳过滤器activated carbon filter
装有粒状活性碳的过滤器，用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。
3.12离子交换ion exchange
一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程，该过程中物质并无实质性结构变化。3.13离子交换树脂ion-exchange resin
一种合成的有机离子交换材料。
3.14去离子水deionized water
经过离子交换处理，除去了呈离子形式的杂质的高纯水
3.15再生regeneration
离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中，用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。
3.16复合床complex bed
将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中，将两柱串联，使水依次通过两个柱而被纯化。
3.17混合床mixed bed将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀，填充于同一离子交换柱中，其纯化效果相当于许多复合床串联使用。
3.18电渗析electrodialysis一种分离水中离子的方法。在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分割成一系列小室。水流通过小室时，在电流电场作用下，水中阳离子向阴极方向移动，但不能通过阳膜；阴离子则相反。这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。
3.19逆向渗透reverse osmosis
用半透膜将浓水和淡水隔开，并在弄水上施加比渗透压更强的机械压力，则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中，达到分离提纯的目的。
3.20反渗透膜reverse osmosis membrane
用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜，其孔径一般为0.02μm或更小，可用于除去无机离子、有机物、细菌等，使水纯化。
3.21微孔膜滤器membrane filter
一种平均孔径（直径）大于0.01μm的薄膜，能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。
3.22超过滤ultrafiltration一种过滤方法，在一定压力下使水流过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等。
3.23终端terminal
高纯水生产流程中经过各道净化工艺后，水的出口或使用地点。
3.24无菌sterile
不含任何活有机体（不论是活跃的或休眠的）。
3.25ph
水溶液中氢离子活度的负对数或氢氧根离子活度倒数的负对数。
4分类和标记
4.1分类
电子级水分为四个级别：ⅰ级、ⅱ级、ⅲ级、ⅳ级。
4.2标记
ⅰ级电子级水标记为：ew-ⅰ。
ⅱ级电子级水标记为：ew-ⅱ。
ⅲ级电子级水标记为：ew-ⅲ。
ⅳ级电子级水标记为：ew-ⅳ。
5要求
电子级水的技术指标应符合表1规定。
表1 电子级水的技术指标
项目
技术指标
ew-ⅰ
ew-ⅱ
ew-ⅲ
ew-ⅳ
电阻率（25℃）/mω·cm
≥18（5%时间不低于17）
≥15（5%时间不低于13）
≥12
≥0.5
全硅/（μg/l）
≤2
≤10
≤50
≤1000
微粒数/（个/l）
0.05μm~0.1μm
500
-
-
-
0.1μm~0.2μm
300
-
-
-
0.2μm~0.3μm
50
-
-
-
0.3μm~0.5μm
20
-
-
-
＞0.5μm
4
-
-
-
细菌个数/（个/ml）
≤0.01
≤0.1
≤10
≤100
铜/（μg/l）
≤0.2
≤1
≤2
≤500
锌/（μg/l）
≤0.2
≤1
≤5
≤500
镍/（μg/l）
≤0.1
≤1
≤2
≤500
钠/（μg/l）
≤0.5
≤2
≤5
≤1000
钾/（μg/l）
≤0.5
≤2
≤5
≤500
铁/（μg/l）
≤0.1
-
-
-
铅/（μg/l）
≤0.1
-
-
-
氟/（μg/l）
≤1
-
-
-
氯/（μg/l）
≤1
≤1
≤10
≤1000
亚硝酸根/（μg/l）
≤1
-
-
-
溴/（μg/l）
≤1
-
-
-
硝酸根/（μg/l）
≤1
≤1
≤5
≤500
磷酸根/（μg/l）
≤1
≤1
≤5
≤500
6试验方法
6.1电阻率
电子级水的电阻率按gb/t 11446.4-013进行测定。
6.2全硅含量（以二氧化硅计）
电子级水全硅（以二氧化硅计）含量按gb/t 11446.6-2013进行测定。
6.3微粒数
电子级水中微粒数按gb/t 11446.9-2013进行测定。
6.4细菌总数
电子级水中细菌总数按gb/t 11446.10-2013进行测定。
6.5痕量金属含量
电子级水中痕量金属的含量按gb/t 11446.5-2013进行测定。
6.6氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量
电子级水中氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量按gb/t 11446.7-2013进行测定。
6.7总有机碳含量电子级水中总有机碳含量按gb/t 11446.8-2013进行测定。
7检验规则
7.1检验部门
电子级水的检验均应在有资质的检验部门进行。
7.2检验分类
电子级水的检验分为交收检验和例行检验。
7.3交收检验
7.3.1抽验项目
电子级水中电阻率、钠离子、全硅（以二氧化硅计）为交收检验项目。
7.3.2合格判据
在用水终端采样，检验后检验结果如有一项或一项以上不合格时，应再次采样经行检验，如仍不合格，则该批不合格，应提出改进措施直到水质合格。
7.4例行检验（全检项目）
7.4.1检验项目
检验项目为表1规定的全部项目。检验顺序应以不影响后序实验结果的原则进行检验。
7.4.2不合格判定
在用水终端采样后进行例行检验，检验结果如有不合格项时，应再次采样进行检验，如仍有不合格项时，应提出改进措施直到水质合格。
7.4.3检验频次
例行检验至少每年进行一次，当制水条件发生变更时也应进行例行检验。
8采样、贮存、运输及标志
8.1采样、贮存、运输电子级水的采样、贮存、运输应符合gb/t 11446.3-2013的规定。
8.2标志
在用水终端采样进行检验时，水质合格后应附有检验合格证，合格证应包含如下内容：
1.名称及级别；
2.各项技术指标；
3.制水单位；
4.供水日期；
5.检验员签章及检验日期。
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电子级水GB∕T11446.1-2013
交直流阻容分压器技术指标及常见故障解析
南京六氟化硫泄漏报警器选购注意事项
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表面接触角测试仪的软件结构设计和产品特征
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（gb/t 11446.1-2013）
1范围
gb/t 11446 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。
本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。
2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是需要的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改）适用于本文件。
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gb/t 11446.10-2013 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
电子级水electronic grade water
电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。
3.2
电阻率resistivity
在规定温度下，1cm3(正立方体)水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号ρ表示，单位为欧姆厘米（ω·cm）,纯水的理论电阻率为18.3mω·cm(25℃)。
3.3
全硅total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。
3.4
可溶性硅soluble silicon
以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。
3.5微粒性物质granular matter
除气体外，以非液体分散在水中，并形成非均相混合物的物质。
3.6总有机碳total organic carbon；toc
水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。
3.7吸附absorption某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的现象。
3.8凝聚coagulation
在源水中加入某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。
3.9絮凝flocculation
水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是再凝聚作用后缓慢进行，可除去水中更细的微粒。
3.10砂滤器sand filter
用于盛放不同直径的砂粒，以除去源水中悬浮固体和浑浊物的装置。
3.11活性碳过滤器activated carbon filter
装有粒状活性碳的过滤器，用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。
3.12离子交换ion exchange
一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程，该过程中物质并无实质性结构变化。3.13离子交换树脂ion-exchange resin
一种合成的有机离子交换材料。
3.14去离子水deionized water
经过离子交换处理，除去了呈离子形式的杂质的高纯水
3.15再生regeneration
离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中，用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。
3.16复合床complex bed
将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中，将两柱串联，使水依次通过两个柱而被纯化。
3.17混合床mixed bed将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀，填充于同一离子交换柱中，其纯化效果相当于许多复合床串联使用。
3.18电渗析electrodialysis一种分离水中离子的方法。在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分割成一系列小室。水流通过小室时，在电流电场作用下，水中阳离子向阴极方向移动，但不能通过阳膜；阴离子则相反。这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。
3.19逆向渗透reverse osmosis
用半透膜将浓水和淡水隔开，并在弄水上施加比渗透压更强的机械压力，则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中，达到分离提纯的目的。
3.20反渗透膜reverse osmosis membrane
用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜，其孔径一般为0.02μm或更小，可用于除去无机离子、有机物、细菌等，使水纯化。
3.21微孔膜滤器membrane filter
一种平均孔径（直径）大于0.01μm的薄膜，能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。
3.22超过滤ultrafiltration一种过滤方法，在一定压力下使水流过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等。
3.23终端terminal
高纯水生产流程中经过各道净化工艺后，水的出口或使用地点。
3.24无菌sterile
不含任何活有机体（不论是活跃的或休眠的）。
3.25ph
水溶液中氢离子活度的负对数或氢氧根离子活度倒数的负对数。
4分类和标记
4.1分类
电子级水分为四个级别：ⅰ级、ⅱ级、ⅲ级、ⅳ级。
4.2标记
ⅰ级电子级水标记为：ew-ⅰ。
ⅱ级电子级水标记为：ew-ⅱ。
ⅲ级电子级水标记为：ew-ⅲ。
ⅳ级电子级水标记为：ew-ⅳ。
5要求
电子级水的技术指标应符合表1规定。
表1 电子级水的技术指标
项目
技术指标
ew-ⅰ
ew-ⅱ
ew-ⅲ
ew-ⅳ
电阻率（25℃）/mω·cm
≥18（5%时间不低于17）
≥15（5%时间不低于13）
≥12
≥0.5
全硅/（μg/l）
≤2
≤10
≤50
≤1000
微粒数/（个/l）
0.05μm~0.1μm
500
-
-
-
0.1μm~0.2μm
300
-
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0.2μm~0.3μm
50
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0.3μm~0.5μm
20
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＞0.5μm
4
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细菌个数/（个/ml）
≤0.01
≤0.1
≤10
≤100
铜/（μg/l）
≤0.2
≤1
≤2
≤500
锌/（μg/l）
≤0.2
≤1
≤5
≤500
镍/（μg/l）
≤0.1
≤1
≤2
≤500
钠/（μg/l）
≤0.5
≤2
≤5
≤1000
钾/（μg/l）
≤0.5
≤2
≤5
≤500
铁/（μg/l）
≤0.1
-
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铅/（μg/l）
≤0.1
-
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氟/（μg/l）
≤1
-
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氯/（μg/l）
≤1
≤1
≤10
≤1000
亚硝酸根/（μg/l）
≤1
-
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-
溴/（μg/l）
≤1
-
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硝酸根/（μg/l）
≤1
≤1
≤5
≤500
磷酸根/（μg/l）
≤1
≤1
≤5
≤500
6试验方法
6.1电阻率
电子级水的电阻率按gb/t 11446.4-013进行测定。
6.2全硅含量（以二氧化硅计）
电子级水全硅（以二氧化硅计）含量按gb/t 11446.6-2013进行测定。
6.3微粒数
电子级水中微粒数按gb/t 11446.9-2013进行测定。
6.4细菌总数
电子级水中细菌总数按gb/t 11446.10-2013进行测定。
6.5痕量金属含量
电子级水中痕量金属的含量按gb/t 11446.5-2013进行测定。
6.6氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量
电子级水中氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量按gb/t 11446.7-2013进行测定。
6.7总有机碳含量电子级水中总有机碳含量按gb/t 11446.8-2013进行测定。
7检验规则
7.1检验部门
电子级水的检验均应在有资质的检验部门进行。
7.2检验分类
电子级水的检验分为交收检验和例行检验。
7.3交收检验
7.3.1抽验项目
电子级水中电阻率、钠离子、全硅（以二氧化硅计）为交收检验项目。
7.3.2合格判据
在用水终端采样，检验后检验结果如有一项或一项以上不合格时，应再次采样经行检验，如仍不合格，则该批不合格，应提出改进措施直到水质合格。
7.4例行检验（全检项目）
7.4.1检验项目
检验项目为表1规定的全部项目。检验顺序应以不影响后序实验结果的原则进行检验。
7.4.2不合格判定
在用水终端采样后进行例行检验，检验结果如有不合格项时，应再次采样进行检验，如仍有不合格项时，应提出改进措施直到水质合格。
7.4.3检验频次
例行检验至少每年进行一次，当制水条件发生变更时也应进行例行检验。
8采样、贮存、运输及标志
8.1采样、贮存、运输电子级水的采样、贮存、运输应符合gb/t 11446.3-2013的规定。
8.2标志
在用水终端采样进行检验时，水质合格后应附有检验合格证，合格证应包含如下内容：
1.名称及级别；
2.各项技术指标；
3.制水单位；
4.供水日期；
5.检验员签章及检验日期。
qubitbiology S159 CO2和O2分析仪
总投资9.7亿元！中广核签约湖南单体容量大风电项目
四合一气体检测仪使用时需要注意些什么？
LU2P5X5长距离激光位移传感
气动三片式内螺纹球阀的主要特性
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一体化预制泵站零部件集成于筒体中，掩埋在地下
离子泵控制器的安装步骤，快来学习下吧
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