我们常见的精密运动台平台在各种加工及测试设备中,为了保证这个系统的精度,那用什么方法和标准检测它的精度呢,下面的这些内容不可以忽视。
首先我们谈下标准,在行业的规则里,都是按照数控机床的规范iso 230-2,gb/t 17421实施的。当然德国vdi,日本jis等不同国家有不同的标准,总体来说,最终是根据用户的应用作为参考的,在国内用的最多的是iso和gb标准。
其次关于测量仪器,行业通用默认的是雷尼绍的氦氖激光干涉仪进行测试直线运动平台的精度,根据不同的镜组,对于直线台的定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、pitch/roll/yaw等指标进行测试。
然后我们说下测试环境的温度,温度的变化对测试精度影响也是很重要的,一般我们要求在20℃,当然温差约小越好。我们用精密运动平台做过大量的实验,单从温度角度介绍,设定温度在20℃,当温度变化0.25℃以内,定位精度不会有任何变化的;当温差±0.3℃时,定位精度会增加100nm;温差±0.4℃时,定位精度会增加300nm;当温度恢复到20℃,定位精度也会恢复,所以产品的可靠性很高。
除了以上,还需要考虑环境振动,湿度,空气扰动,测试仪器光路调整等等,这些条件都会影响到精密运动平台的精度检测,要想测试精度准确,各个细节都应该值得关注。每个用户的应用不同,应用到的精度不同,我们会如实的评估给用户,尽量避免以后应用时遇到问题。
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