罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用,可在压力1.3×103~1.3×10-1pa范围内提高抽气速率。nb系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。
特长
结净的真空
腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大一级的电机,即可实现在高吸入压强下的运转。
用途
照明、电子、光学、半导体镀膜、溅射、离子镀、液晶注入真空干燥、冷冻干燥、真空脱气真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉分析仪器、检漏设备,co2激光设备
机 型 nb100a
nb300a
nb600a
nb1200a
项 目
抽气速率*3
m3/h(l/min)
50hz
95(1580)
280(4670)
500(8330)
1000(16667)
60hz
115(1920)
330(5500)
600(10000)
1200(20000)
zui大吸入压力 pa
(连续运转时)
50hz
1.3×103
1.2×103
1.3×103
60hz
1.3×103
9.3×102
1.1×103
zui大允许压力差 pa
(排出压力-吸入压力)
50hz
8.0×103
4.0×103
7.3×103
60hz
6.7×103
3.3×103
6.0×103
极限压力 pa*1 4.0×10‐1
6.7×10‐1
标准粗抽泵 gld-n280
vdn301
vdn401
vsn1501
vsn2401
vsn1501
vsn2401
电 机 kw (极)*2 *4 0.4(2)
0.75(2)
2.2(2)
3.7(2)
v-hz 380/400/415v-50hz、380/400/440v-60hz
使 用 油 ulvoil®r-4
所需油量 l 0.35
0.70
1.50
1.90
冷却水量 l/min*6 空 冷
2*5
2
3
进水压力 mpa -
0.3
进出水压差 mpa -
0.05
0.1
重 量 kg 24
49
77.5
110
吸气口径 (jis b 2290) 相当 vg50
相当 vg80
相当vg80
相当vg100
排气口径 (jis b 2290) 相当vf50
相当vf80
相当vf80
相当vf80
*1用皮拉尼真空计测量的值,如用麦氏真空计测量,则为4.0×10-2pa(3.0×10-4torr),而nb1200a则为6.7×10-2pa(5.0×10-4torr)。
*2电源为ac380v、50hz、三相。
*3 随粗抽泵的性能而变化,表中为标准泵的组合的数据。
*4 nb300a、nb600a、nb1200a可分别选购1.5kw、3.7kw、5.5kw的大容量电机。
*5 对于530pa(4torr)以下可用空冷,但530pa(4torr)以上进行连续运转必须用水冷。
*6 冷却水温为5~30℃。
关键词:真空泵 真空计
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