等离子除胶机蚀刻材料的过程中具有可选择性和方向性
在等离子除胶机的增强刻蚀中，当高能颗粒撞击表面时，表面会形成缺陷、位错或悬浮。这些缺陷提高了表面的化学反应刻蚀速率，使得这种等离子除胶机的刻蚀过程具有选择性和方向性。
这些等离子除胶机在清洗过程中，碳氢化合物与衬底之间的键合被削弱，所获得的能量使这些有(机)复合物与衬底分离。有(机)化合物分子基团一旦脱离，就会被惰性气体带走。离子束照射、中性粒子流、带电粒子轰击为结合键的断裂提供能量。这些能量首先被碳氢化合物吸收，然后在各种形式的二次过程中被消耗掉。正是这些形式的二次过程实现了表面清洁的效果。
等离子体中有大量的紫外线辐射。能量被聚合物吸收后，产生化学性质非常活跃的自由基，容易与等离子体中的气体发生反应，产生挥发性气体。快离子与中性微粒碰撞产生的中性自由基在等离子除胶机中不断轰击试样表面，在中性粒子间进行电荷交换和能量转移，并在等离子脱胶机上进行。运动动能和振动动能以温和的方式加热表面，解离和激发状态产生的自由基以平动或振动的方式传热。若能量超过阈值，则可引起溅射，并伴有自由基团。等离子体中的自由基是去除碳氢化合物的一个重要因素，它类似于机械方法。
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