半导体超纯水设备：DI水（超纯水）的测试标准
对于di水的测试，需要精密的仪器和受控制的环境，如需要达到一定级别的无尘环境，专门的实验室等。不过大多数公司不可能投资巨额的资金去做该测试，将di水送到有资格的外部实验室进行测试是一个可以考虑的做法。下面的内容就di水的常用测试项目和方法做简单的介绍：
1、纯水设备电阻率测试(resistivity test )
该测试要求di水需要处于温度在25摄氏度状况下，多数情况下工厂可以在线监控该项测试，即可以在di水的出水端安装一个电阻测试仪器，可以随时记录数据的变化。除了在线监控外，也可以送到实验中心进行测试。测试结果的判定可以根据产品的要求而定。如在电脑的磁头工厂，di水是直接用来清洗产品的，所以要求非常高，一般要求在15---18mω·cm之间。测试方法是根据美国材料实验协会的标准（astm）。
2、蒸发后残留物测试（residue after evaporation test）
该测试是监控di水残留物含量的测试，结果评估是看每升水中有多少ug残留物(ug/l)，其依据是根据astmd5462 /f1094进行控制。
3、细菌测试（bacteria test）
该测试监控di水中微生物的含量，表面上我们看到的是一杯非常透明的干净的水，其实在水里面有很多微生物的存在，相对来说，di水中的微生物会比我们饮用的自来水中少很多，因为di水的生产流程经过了多次过滤、消毒、紫外线杀菌等等过程。做该测试会耗时较长，具体做法是使用培养皿对di水进行细菌培植，到一定的时数后再使用放大镜看di水中有多少细菌生长出来。因为细菌需要养料才能生长，该测试就是根据该原理来测试细菌的数量。其判定结果是观测在100ml水中有多少个细菌，需要观测出不同大小的数量。
4、纯水设备液态尘粒测试（lpc test）
该测试是监控di水中一定粒径下粒子的含量，一般控制每毫升中离子的个数（个/ml）。该测试是di水非常重要的一个测试，也是监控di水的必测项目。在污染控制领域，一般对0.5um粒径的粒子的个数进行严格控制，如在电脑磁头行业的公司，一般标准控制在1000个/ml。不过到底定什么样的标准，可以根据产品特性来对di水的lpc做出限制，一般实验可以测试小到0.1um 到350um的粒径。该测试方法是根据astm d4327/5542条款尽心操作。
5、硅油总量测试（total silica test）
在多数的高科技产品生产中，对硅油是必须作出严格控制的，因为硅材料的分子特性可以对产品造成污染从而最终损坏该产品，所以该项测试是也是di水非常重要的测试之一。测试结果一般是以每升水中含有多少微克的硅做为判定标准(ug/l)。该测试方法依据astm d5673和d3919进行测试。对于测试结果的理解，需要特别作出说明，如果测试结果显示没有硅油，这并不是表示di水中不存在硅油，而是测试结果没有超出测试标准中的敏感线（值）。
6、离子测试（ionic content）
该测试也是di水非常重要的测试之一，主要监控di水中各种阴阳离子的含量，测试结果一般用总量不超过多少微克来判定（ug/ml）。比较常见的离子有：氯离子、铁离子、钠离子、硝酸根离子、硫酸根离子、钙离子等。
7、金属离子测试（metal content test ）
该测试主要监控di水中的金属离子的含量，测试结果一般用般用总量不超过多少微克来判定（ug/ml）。比较常见的离子有：钾离子、铁离子、钠离子、镁粒子、钙离子等等。监控金属离子是用来评估水的硬度是否合适。
8、溶解氧测试（dissolved oxygen）
该测试主要是监控di水中活性氧的含量，因为水中含氧量过高，会加速其它物质的氧化反应从而影响到终端产品。其结果评估一般看每升水中含有多少微克的活性氧（ug/l）。可以参考astmd5391进行控制和测试。
综上所述，我们对di水进行各种不同类型的测试，其最终目的是为了终端产品的要求，根据不同产品类型可以有不同的测试项目和要求，以上几个方面的测试是的几种测试方法。其它的如毒素测试（endotoxin test），可溶解硅的测试（dissolved silicatest），总有机碳测试（toc）等也时有用到。纯水设备，实验室纯水设备，gmp纯化水设备，南昌纯水设备。
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2、蒸发后残留物测试（residue after evaporation test）
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3、细菌测试（bacteria test）
该测试监控di水中微生物的含量，表面上我们看到的是一杯非常透明的干净的水，其实在水里面有很多微生物的存在，相对来说，di水中的微生物会比我们饮用的自来水中少很多，因为di水的生产流程经过了多次过滤、消毒、紫外线杀菌等等过程。做该测试会耗时较长，具体做法是使用培养皿对di水进行细菌培植，到一定的时数后再使用放大镜看di水中有多少细菌生长出来。因为细菌需要养料才能生长，该测试就是根据该原理来测试细菌的数量。其判定结果是观测在100ml水中有多少个细菌，需要观测出不同大小的数量。
4、纯水设备液态尘粒测试（lpc test）
该测试是监控di水中一定粒径下粒子的含量，一般控制每毫升中离子的个数（个/ml）。该测试是di水非常重要的一个测试，也是监控di水的必测项目。在污染控制领域，一般对0.5um粒径的粒子的个数进行严格控制，如在电脑磁头行业的公司，一般标准控制在1000个/ml。不过到底定什么样的标准，可以根据产品特性来对di水的lpc做出限制，一般实验可以测试小到0.1um 到350um的粒径。该测试方法是根据astm d4327/5542条款尽心操作。
5、硅油总量测试（total silica test）
在多数的高科技产品生产中，对硅油是必须作出严格控制的，因为硅材料的分子特性可以对产品造成污染从而最终损坏该产品，所以该项测试是也是di水非常重要的测试之一。测试结果一般是以每升水中含有多少微克的硅做为判定标准(ug/l)。该测试方法依据astm d5673和d3919进行测试。对于测试结果的理解，需要特别作出说明，如果测试结果显示没有硅油，这并不是表示di水中不存在硅油，而是测试结果没有超出测试标准中的敏感线（值）。
6、离子测试（ionic content）
该测试也是di水非常重要的测试之一，主要监控di水中各种阴阳离子的含量，测试结果一般用总量不超过多少微克来判定（ug/ml）。比较常见的离子有：氯离子、铁离子、钠离子、硝酸根离子、硫酸根离子、钙离子等。
7、金属离子测试（metal content test ）
该测试主要监控di水中的金属离子的含量，测试结果一般用般用总量不超过多少微克来判定（ug/ml）。比较常见的离子有：钾离子、铁离子、钠离子、镁粒子、钙离子等等。监控金属离子是用来评估水的硬度是否合适。
8、溶解氧测试（dissolved oxygen）
该测试主要是监控di水中活性氧的含量，因为水中含氧量过高，会加速其它物质的氧化反应从而影响到终端产品。其结果评估一般看每升水中含有多少微克的活性氧（ug/l）。可以参考astmd5391进行控制和测试。
综上所述，我们对di水进行各种不同类型的测试，其最终目的是为了终端产品的要求，根据不同产品类型可以有不同的测试项目和要求，以上几个方面的测试是的几种测试方法。其它的如毒素测试（endotoxin test），可溶解硅的测试（dissolved silicatest），总有机碳测试（toc）等也时有用到。纯水设备，实验室纯水设备，gmp纯化水设备，南昌纯水设备。
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