超声波切割加工是利用超声振动工具在有磨料的液体介质中或干磨料中产生磨料的冲击、抛磨、液压冲击及由此产生的气蚀作用来去除材料,或给工具或工件沿一定方向施加超声频振动进行振动加工,或利用超声振动使工件相互结合的加工方法。在硬脆材料去除加工领域,机械加工利用工具对工件的作用力去除材料,工具磨损比较严重;电加工性能则受到工件材料导电性的限制;激光加工过程中产生的大量热量易使工件表面形成裂纹与发生氧化;而超声加工是非接触加工,加工性能不依赖于材料的导电性,加工过程中产生的切削热也很小,是玻璃、工程陶瓷、硅晶体、石英晶体等硬脆性材料有效的加工方法。
一般的难加工材料有高温合金、钛合金、高强钢、复合材料、陶瓷材料等,这些材料硬度高、强度高、不易磨损、不易氧化,以及拥有良好的耐热性、耐腐蚀性等优点,已经越来越广泛地应用在机械制造、国防以及航空工业等领域。例如陶瓷材料是典型的难加工材料,一直以来磨削是之前的加工方法。随着技术的发展,人们尝试采用超声波、电火花、离子束、激光及复合加工等方法来加工陶瓷,并且取得了一定的研究成果。其中超声波加工陶瓷材料有着*的优势。
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