asml公司的euv光刻机独一份,现在主要是用在7nm及以下的逻辑工艺上,台积电、三星用它生产cpu、gpu等芯片。马上内存芯片也要跟进了,sk海力士宣布明年底量产euv工艺内存。
据报道,sk海力士总裁李石熙日前表示,该公司计划将于明年下半年开始在利川厂区m16采用euv光刻机生产第四代(1a nm)dram产品。
李石熙表示m16工厂将于今年底建成,明年上半年开始引入制造设备,目前实验室正在进行准备工作,预计明年开始量产。
对内存来说,它跟cpu逻辑工艺一样面临着需要微缩的问题,euv光刻机可以减少多重曝光工艺,提供工艺精度,从而可以减少生产时间、降低成本,并提高性能。
当然,上euv工艺的代价也不是没有,euv光刻机单价10亿元以上,产量还是不如传统duv光刻机,意味着初期成本会比较高。
在sk海力士之前,三星也宣布使用euv工艺生产内存,前不久发布的16gb容量lpddr5内存已经用上了,带宽速度为6400mbps(等价6400mhz),比现款12gb lpddr5-5500快了16%。
在16gb的总容量下,允许一秒内传输10部5gb高清电影(51.2gb)。
三大内存原厂中,只有美光对euv工艺不太热心,不过随着前两大厂商上马euv工艺,美光后续的想法或许也会改变了。
原标题:用上euv光刻机,sk海力士宣布明年量产第四代内存
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