MC方案｜MEMS应用中悬浮活性硅膜厚度测量
悬浮活性硅膜厚度测量，适用于mems微机电系统应用，光斑尺寸为25um。
简介
硅基底的传感器因其高性能、低成本和小尺寸而广泛应用于不同的mems微机电系统。悬浮在图案上的硅膜或基于soi的传感器上的活性硅层的厚度对于控制终平台的性能至关重要[1]。在这里，我们已经在一个mems微机电系统压力传感器上测量了硅薄膜厚度，使用的是孔径为250μm的fr-μprobe，该工具安装在一个徕卡分模光学显微镜上。使用10倍物镜进行测量，该物镜与选定的孔径大小一起对应于25μm的光斑大小(测量区域)。
使用内部光源将fr-μprobe安装在光学显微镜上
测量方法
获得的典型实验反射光谱(黑线)和由fr-monitor软件记录的拟合反射光谱(红线)如下图所示。
图1显示了对传感器的soi区域的测量，其中对活性硅与埋态氧化物同时进行了厚度测量。二氧化硅薄膜的厚度值在759.2nm测量，而硅薄膜在5320.1nm测量。
图1. mems微机电系统压力传感器上soi区域的实验和拟合反射光谱，以及测量的厚度值。
图2显示了对传感器的图案化悬浮硅区域的测量，其中再次对活性硅与埋态氧化物同时进行了厚度测量。测得二氧化硅薄膜的厚度值在759.2nm处相同，而硅薄膜在5329.1μm处的顶部，比soi区域的厚度值高9nm。
图2. mems微机电系统压力传感器上悬浮硅区域的实验和拟合反射光谱，以及测量的厚度值。
结论
参数测试系统fr-uprobe是一个*、功能强大的工具，用于局部测量斑点尺寸低至2μm的层的厚度。由于其模块化设计，可安装在任何三眼光学显微镜上，从而增强显微镜的性能，而不会对其性能产生任何影响。
references:
[1] j. su, x. zhang, g. zhou, c. xia, w. zhou, and q. huang, “areview: crystalline silicon membranes over sealed cavities for pressure sensorsby using silicon migration technology,” j. semicond., vol. 39, no. 7, pp. 1–7,2018.
fr-μprobe通过光学显微镜在各种模式下进行光学测量，例如吸收率，透射率，反射率和荧光。该工具包含两个光学组件：一个在显微镜支持的光谱范围内运行的光谱仪，和一个可安装在任何三目光学显微镜的c端口上的模块。用于测量的光源是光学显微镜中的可用光源。收集信号的大小区域由所用物镜的放大倍率定义。通常对于50倍物镜，监视区域是直径约为5μm的圆形。通过使用更高放大倍率或更小孔径的物镜可进一步减少收集面积。通过测量反射率，可计算出所研究的薄膜和厚膜叠层区域的膜厚和光学常数（n＆k）。
thetametrisis膜厚仪操作便捷，分析结果快速准确，多款型号，可满足广泛的应用范围，后期我们将持续为您推送更多实际应用案例，希望帮助您达到实验结果*化。
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图1. mems微机电系统压力传感器上soi区域的实验和拟合反射光谱，以及测量的厚度值。
图2显示了对传感器的图案化悬浮硅区域的测量，其中再次对活性硅与埋态氧化物同时进行了厚度测量。测得二氧化硅薄膜的厚度值在759.2nm处相同，而硅薄膜在5329.1μm处的顶部，比soi区域的厚度值高9nm。
图2. mems微机电系统压力传感器上悬浮硅区域的实验和拟合反射光谱，以及测量的厚度值。
结论
参数测试系统fr-uprobe是一个*、功能强大的工具，用于局部测量斑点尺寸低至2μm的层的厚度。由于其模块化设计，可安装在任何三眼光学显微镜上，从而增强显微镜的性能，而不会对其性能产生任何影响。
references:
[1] j. su, x. zhang, g. zhou, c. xia, w. zhou, and q. huang, “areview: crystalline silicon membranes over sealed cavities for pressure sensorsby using silicon migration technology,” j. semicond., vol. 39, no. 7, pp. 1–7,2018.
fr-μprobe通过光学显微镜在各种模式下进行光学测量，例如吸收率，透射率，反射率和荧光。该工具包含两个光学组件：一个在显微镜支持的光谱范围内运行的光谱仪，和一个可安装在任何三目光学显微镜的c端口上的模块。用于测量的光源是光学显微镜中的可用光源。收集信号的大小区域由所用物镜的放大倍率定义。通常对于50倍物镜，监视区域是直径约为5μm的圆形。通过使用更高放大倍率或更小孔径的物镜可进一步减少收集面积。通过测量反射率，可计算出所研究的薄膜和厚膜叠层区域的膜厚和光学常数（n＆k）。
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