HORIBA气体质量流量控制器&气体流量计
气体质量流量控制器&气体流量计horiba提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的类型。我们可提供三种阀门，客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式，包括模拟式、数字式、devicenet™ (*1), 以及profibus™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。
*1 devicenet是一种通讯方式的标志。
*2 profibus是一种化的通讯方式标志。
高范围
压力不敏感型高性能质量流量控制器d500
压力不敏感型高性能质量流量控制器: d500
高稳定性质量流量模块—气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、pi（压力不敏感型）质量流量模块
性能产品
热感传感器，压力钝感质量流量计sec-z700系列
应用高温技术的高可靠性，高精度数字式流量控制器
高销量
多范围/多气体的数字式质量流量控制器 sec-z500x
提供多气体，多量程的解决方案，是horiba的气体质量流量控制器。高精度，快速响应，轻巧的尺寸。全金属
通用（数字/模拟式 通讯模式）
数字式质量流量控制器 sec-n100 系列
针对多种工业。多种通讯方式，数字式/模拟式，devicenet™, cc-link®, profibus™以及ethercat®。大范围控制从10sccm到1000slm，全金属
通用（模拟式 通讯模式）
质量流量控制器 sec-e系列
适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2sccm到500slm(n2)的流量控制 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： sec-e40mk3/e50mk3
质量流量控制器 sec-400系列
它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的sec-310，可以进行大于0.1sccm的微小流量控制。并且，利用sec-623可以进行小于200slm的大流量控制。
高精度型号：sec-405可以进行±0.5％f.s.的流量控制.
高温
高温应用质量流量控制器 sec-8000f/d/e系列
适用于高温环境的数字式质量流量控制器
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