液晶面板材料用表面缺陷检测设备介绍
液晶面板材料用表面缺陷检测设备介绍
表面缺陷检测设备（一般）
应用流传已久的魔镜(透光镜)原理，达成实时检测镜面平板基材表面状态的装置。受世界各地的矽晶圆厂所用。
非接触、非破坏性的检查，以及免维护的光学系统根据选配，可追加表面缺陷自动判定影像处理软体、自动化搬运装置、影像储存、影像列印等功能。
1、即时显示所有表面状态。
2、光学系统对应等级１
3、学系统无须维护。
4、根据检测内容，可修正检测灵敏度。
询问此产品的型录
检测尺寸
从φ100mm至φ300mm
检测内容
平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
检测倍率
1x / 3x 模式可切换（标准设备）
检测灵敏度
检测灵敏度可连续调整
使用光源
550nm （固定照度之稳定光源）
镜头
高解析度ccd镜头
平台
手动平台（标准设备）
用途镜面晶圆的表面检测
滑线检测
玻璃基板检测
其他镜面基板检测
选配
电动马达检测平移台
自动判定缺陷影像处理装置
影像列印机
搬运装置
关键词：检测设备
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