概述crf plasma工作温度和产生等离子的必要条件:
一、crf plasma工作温度
尽管经过加工处理原料的几秒钟后,其工作温度在60°-75°之间,但是这一数据资料是根据喷枪距离原料15毫米,输出功率500w,与120mm的三轴速度相匹配。不过输出功率,接触时间段,加工处理的相对高度都是会对工作温度有一定的直接影响。须要特别注意的是,大气plasma喷枪作业时喷出的火焰分为内火焰和外火焰。我们清洗的时候基本都是用外火焰清洗。内火焰在喷嘴里,从表面看不见。可是假如在喷出来“火焰”的情况下下长一段时间朝着某一个点不运作进行加工处理非常容易对表层造成烧灼。因此大气低温plasma的工作温度要在实际的工作状况下才可以测得具体的数据。
而真空型plasma就没这么繁杂,按主机电源输出功率区分,40khz和13.56兆赫兹为例:通常情况下情况下下原材料放进腔体内作业,输出功率为4okhz通常情况下工作温度为65°之下,再者机器里边配有强冷风扇,加工处理时间段不长的话,原材料外表温度都是会跟室内温度相同。输出功率为13.56兆赫兹的就会更低,通常情况下情况下是30°之下。
因此加工处理某些遇热易产生变形的原材料,低温真空型plasma的是在再适宜不过了。
二、crf plasma中等离子造成必要条件
这些相对比较直接的就可以看得出,大气型取决于连接的气体,空气压力要做到0.2mpa之间才还可以造成离子。而真空型则取决于真空泵,造成离子前,即便不连接任何的外接的气体,要将内腔里边的真空度抽到25pa之下才可以造成离子。
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