等离子硅片清洗机离子体能量密度
等离子硅片清洗机离子体能量密度:
能量密度是指在一定的空间或质量物质中储存能量的大小，因此能量密度分为质量能量密度和容积能最密度两种。如果密度在质量或空间中分布是均匀的则质量能量密度是总能量除以拥有这些能量的物质的总质量；等离子硅片清洗机容积能量密度是总能量除以这些能量存在的空间的体积大小。如果密度在质量或空间中分布不均匀就要按照密度分布的实际状况求解。
在等离子硅片清洗机大气压流动式等离子体反应器中，影响等离子体能量密度的主要因素是原料气流量f和等离子体注入功率p。原料气流量是影响反应体系中活性粒子密度和碰撞概率的主要因素之一，等离子硅片清洗机等离子体注入功率是产生等离子体中各种活性粒子(高能电子、活性氧物种、甲基自由基等)的能量来源，两者的动态协同影响可用能量密度ed(kj/mol)描述。
ed=p/f (1-20)
式中，ed为能量密度(kj/mol)；p为等离子体功率(kj/s)；f为原料气体摩尔流量(mol/s)。
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