扫描电镜SEM测试中喷金仪的作用分析
扫描电镜sem测试中喷金仪的作用分析
扫描电镜几乎可以对所有类型的样品进行图像处理，陶瓷、金属、合金、半导体、聚合物、生物样品等。然而，某些特定类型的样品更具有挑战性，并且需要同学们进行额外的样品制备，以便借助扫描电镜收集高质量图片。这些额外的步骤包括在样品中表面溅射一个额外的导电薄层材料，如金、银、铂或铬等。
市面上任何一款电镜都无法喷金。对样品喷金需要一种专门的设备——离子溅射仪。
msp-1s该设备专用于贵金属薄膜镀膜，用于sem观察。这是一种用贵金属涂覆 sem 样品以防止充电并提高二次电子产生效率的装置。除了使用磁控管靶电极进行低压放电外，还将样品台制成浮动式，以减少电子束流入对样品造成的损坏。操作简单，按一下按钮即可，没有任何技巧。它很小，不占用太多空间。它放在办公桌的一角会很有用。用途这是用于sem样品的金属镀膜装置。
主要产品规格
物品 规格
电源 ac100v（单相100v 10a）3p带地插头1口
旋转泵 10l/min（装置内置）
设备尺寸 宽200mm x 深350mm x 高345mm
（设备重量：14.6kg）
样品室尺寸 内径120mm x 高65mm（硬玻璃）
样品台尺寸 直径50mm（浮动法）
电极-样品台距离 35mm（使用辅助样品台时为25mm）
靶电极 内置永磁体的磁控管型靶电极
目标金属规格 φ51mm，厚度0.1mm
pt、pt-pd、au、au-pd、ag
关键词：贵金属 离子溅射仪
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